机译:装有静压轴承的低摩擦气动工作台的设计分析,测量和纳米精度位置控制
机译:用于超精密加工的纳米分辨率空气静力主轴轴承的设计考虑
机译:低成本气缸位置跟踪与调节的动态自适应反步滑模控制方案设计与实验研究
机译:嵌入空气静止轴承的低摩擦动力气缸的设计和纳米定位
机译:在有摩擦的情况下,机电一体化设计和控制低速,高精度定位系统。
机译:X-Y伺服气动-压电混合执行器的开发用于高响应大行程和纳米精度的位置控制
机译:气动Cyrinder低速控制的研究非线性摩擦对气动缸运动的影响及使用ERF补偿方法。